用于HIT太阳能电池的非晶硅薄膜制备与性能研究

• 作者: 杨瑞霞 柳建平 薛俊明 雷青松 齐晓光
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: RF-PECVD 非晶硅薄膜 硅烷浓度 HIT太阳电池
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 2230-2234
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2555字
• 语种: 中文

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积技术(RF-PECVD),在不同硅烷浓度下制备本征非晶硅薄膜,研究薄膜材料的微结构和光电性能.研究表明,在硅烷浓度为5％时,制备的薄膜材料处于非晶/微晶相过渡区域,具有宽光学带隙、低吸收系数、较高电导率和较好的致密性.作为钝化层应用到HIT太阳电池中,具有良好的钝化效果,在n型单晶硅衬底上制备出了效率为13.92％的太阳电池.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	薛俊明		15	43	5.0	5.0
3	齐晓光	河北工业大学信息工程学院	3	26	3.0	3.0
4	雷青松		9	35	4.0	5.0
5	柳建平	河北工业大学信息工程学院	2	7	2.0	2.0