用于惯性约束聚变靶丸测量的激光差动共焦传感器

• 作者: 孟婕 王允 邱丽荣 郭俊杰 高党忠
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性约束聚变 靶丸测量 激光差动共焦传感器 零点定位测量
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 644-651
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.14|TL816.9
• 字数: 2885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132103.0644

摘要

针对目前原子力显微镜等方法只能测量激光惯性约束核聚变(ICF)靶丸外表面等难题,研制了高精度、非接触、小型化的激光差动共焦传感器(LDCS).该传感器基于差动共焦原理,利用激光差动共焦轴向响应曲线的零点对靶丸内外表面和球心分别进行定位,并结合物镜微位移驱动技术,实现靶丸内外表面和壳层厚度的高精度测量.该方法减少了靶丸表面的反射率、倾斜等因素对测量瞄准特性的影响,显著提高了系统的抗干扰能力.将传统的显微成像与差动共焦测量光路进行有机融合,实现了对被测样品的精确瞄准.初步实验与理论分析表明:当测量物镜的数值孔径NA为0.65时,LDCS的轴向分辨力优于5 nm,信噪比优于1 160,过零点的标准偏差为10 nm.该传感器为激光惯性约束核聚变靶丸测量提供了一种新的技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱丽荣	北京理工大学光电学院	42	160	7.0	11.0
2	王允	北京理工大学光电学院	29	88	5.0	8.0
3	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变中心	44	290	11.0	15.0
4	郭俊杰	北京理工大学光电学院	5	75	4.0	5.0
6	孟婕	中国工程物理研究院激光聚变中心	6	19	2.0	4.0