激光诱导等离子体加工石英微通道的实验与理论研究

• 作者: 李世雄 白忠臣 秦水介 陈德良
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光诱导等离子体 微通道 光学击穿 自由电子密度
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 136-141
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.111403

摘要

利用调Q的Nd:YAG激光器输出的1064 nm纳秒脉冲激光聚焦在石英上采用激光诱导等离子体法加工微通道,加工出的微通道在显微镜下没有观察到热裂纹,通道深度可达4 mm.强激光辐照石英,石英吸收激光能量气化、电离,形成等离子体,发生光学击穿,高温等离子体烧蚀石英形成微通道.研究了强激光辐照下等离子体形成的机理以及介电常数、折射率、反射率等光学性质,分析了光学击穿的关键自由电子密度,并计算了光学击穿长度.