400 mm口径平面窗口元件中频误差控制技术

• 作者: 廖德锋 王健 袁志刚 谢瑞清 邓文辉 钟波 陈贤华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 中频误差 去除函数 残余误差
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 3287-3291
• 页数: 5页
• 分类号: TB133
• 字数: 2498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3287

摘要

针对高功率激光装置所需的大口径光学元件,进行了小工具数控抛光中频误差控制工艺研究.对数控加工过程中卷积效应对中频误差的影响进行分析,并建立了残余误差分析模型,对卷积效应所引入的残余误差进行定量分析.利用该模型对中频误差修正工艺参数进行了仿真分析,并进行了修正工艺参数实验验证,确定了全面匀滑最优化参数.在最优化工艺参数的基础上,针对大口径光学元件开展了数控抛光中频误差控制工艺实验验证,使400 mm口径平面窗口元件加工精度达到透射波前PV值为0.27λ,透射波前PSD1RMS值为1.67 nm.该实验结果表明,通过400 mm口径平面窗口元件的中频PSD1控制技术研究,使窗口元件能够达到高功率激光装置对中频PSD1的指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		25	165	9.0	11.0
2	钟波		7	40	5.0	6.0
3	陈贤华		11	72	6.0	8.0
4	邓文辉		2	10	2.0	2.0
5	谢瑞清		7	35	4.0	5.0
6	袁志刚		9	57	6.0	7.0
7	廖德锋		3	14	2.0	3.0