中等口径光斑激光预处理

• 作者: 刘志超 张清华 郑轶 陈松林 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学薄膜 中等口径光斑 激光损伤 激光预处理
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 驱动器
• 页码范围: 3180-3184
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2427字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3180

摘要

介绍了一种基于中等口径光斑的新型激光预处理技术.采用基频最大输出10J的Nd:YAG调Q激光器,获得了直径5 mm、能量密度满足预处理需求的中等口径光斑.较之于小光斑处理方案,采用中等光斑进行扫描,可以显著压缩大口径光学元件的预处理总耗时.为了验证效果,搭建了实验平台,在陪镀片上开展了光斑扫描与损伤阈值测量实验,设计了合理的中等光斑预处理流程,并对阈值提升效果进行了验证.在此基础上,开展了正式元件的预处理实验,采用大行程二维电动位移台,对430 mm×430mm口径的金属铪蒸发工艺高反膜元件进行了夹持和扫描.实验结果表明,经处理后的高反薄膜元件初步达到了27 J/cm2的阈值水平,证明了该技术对薄膜抗损伤能力的提升效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志超		16	86	6.0	8.0
2	陈松林		23	92	6.0	7.0
3	马平		54	355	11.0	15.0
4	张清华		18	154	7.0	12.0
5	郑轶		4	12	3.0	3.0