篇名 | Optical performance,structure and thermal stability of Al(1wt.-%Si)/Zr and Al(pure)/Zr multilayers designed for the 17-19 nm range | ||
来源期刊 | 中国光学快报(英文版) | 学科 | |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2013,(z1) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 144-147 | |
页数 | 4页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.3788/COL201311.S10603 |