α-C: H膜系与氮化物膜系的结构性能比较及机理分析

• 作者: 于斌斌 汪振华 王飞 胡小秋 袁军堂
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束技术 α-C:H膜 多弧离子镀 TiN膜 CrN膜
• 年，卷（期）: 2013,（16）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 91-99
• 页数: 9页
• 分类号: TG174
• 字数: 4506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2013.16.091

摘要

采用非平衡磁控溅射与阳极离子束技术制备Cr/α-C:H膜系,同时采用多弧离子镀技术分别制备Cr/CrNx与Ti/TiNx膜系,膜层厚度均为2 μm.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Raman光谱、X射线衍射仪分析三种薄膜的微观结构和表面形貌;采用WS-2005型附着力划痕仪测试三种膜系与SKD11不锈钢基体的结合强度;采用自主研制的球磨仪测试制备在SKD11不锈钢与YG6硬质合金基体上的三种膜层耐磨性能.结果表明,利用阳极离子束技术制备的α-C:H膜是一种非晶结构、表面平滑的薄膜,粗糙度值仅为5.21nm,划痕试验临界载荷为17.8 N.而晶态的TiNx与CrNx膜层粗糙度较高,且其表面存有“熔滴”,但其结合强度较高,划痕试验临界载荷达80 N以上.α-C:H膜层的耐磨性能优于TiNx,CrNx,且沉积在YG6硬质合金基体上的膜层单位磨损率均比SKD11不锈钢基体上的膜层低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪振华	南京理工大学机械工程学院	77	484	14.0	18.0
2	袁军堂	南京理工大学机械工程学院	113	706	14.0	19.0
3	胡小秋	南京理工大学机械工程学院	55	248	8.0	12.0
4	王飞	苏州大学物理科学与技术学院	41	173	8.0	10.0
5	于斌斌	南京理工大学机械工程学院	7	40	3.0	6.0