大口径高通量实验平台反射镜在线洁净控制技术

• 作者: 叶亚云 周国瑞 张传超 王晓红 王洪彬 秦朗 苗心向 袁晓东 赵龙彪
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径高通量实验平台 在线洁净控制 风刀 风帘
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 驱动器
• 页码范围: 3215-3219
• 页数: 5页
• 分类号: TN244
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3215

摘要

针对大口径高通量实验平台面朝上反射镜表面发生的颗粒污染物沉积和损伤现象,提出了一种基于在线监测系统的在线洁净控制方法.通过搭建风刀系统实现了反射镜表面颗粒污染物在线有效洁净处理,利用风帘实现了反射镜表面颗粒污染物在线有效洁净维持,采用图像处理系统快速地实现了在线洁净处理效果的准确评估.实验结果表明,采用风刀吹扫能够减少元件表面颗粒污染物,使用风帘可以有效阻滞颗粒污染物沉降,可应用于反射镜在线洁净维持.