微球组装技术在三维电池衬底中的应用研究

• 作者: 刘伯飞 张晓丹 梁俊辉 梁雪娇 白立沙 赵慧旭 赵颖 陈泽 高海波
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微球自组装 微米结构 非晶硅薄膜 三维电池
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 页码范围: 2213-2217
• 页数: 5页
• 分类号: O436.2|O756
• 字数: 1273字
• 语种: 中文

摘要

以非晶硅薄膜和聚苯乙烯微球为原材料,采用自组装方法和反应离子刻蚀技术制作非晶硅微米结构,以期应用于三维电池银背电极的制备当中.实验表明,对微球的刻蚀时间进行控制、对非晶硅的刻蚀气压、刻蚀时间进行控制,可获得不同的三维微米结构.采用合适的工艺条件可获得梯形结构、三角形结构,蒸镀银薄膜后能获得约95％的可见光、近红外光散射比率,为三维电池制备提供一种新的实现方法.