双极性脉冲UMS电源的研究

• 作者: 孙天乐 孙强 陈桂涛
• 来源期刊: 电力电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电源 磁控溅射 复合调制 电弧管理
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 装置及应用
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TN86
• 字数: 2097字
• 语种: 中文

摘要

研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射(MS)电源.该电源以FPGA为控制系统核心,采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出,并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求,设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制(DPCM)策略.搭建一台10 kW样机并进行了测试,结果表明该电源具备多变量脉冲输出特性及良好的电弧管理能力,为MS工艺的研究与探索提供了重要的技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	西安理工大学自动化与信息工程学院	65	483	10.0	19.0
2	陈桂涛	西安理工大学自动化与信息工程学院	25	70	4.0	6.0
3	孙天乐	西安理工大学自动化与信息工程学院	2	6	2.0	2.0