一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关

• 作者: 丁桂甫 朱斌 杨卓青 赵小林 陈文国
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性开关 微机电系统 多向敏感
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 104-107,118
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 2009字
• 语种: 中文

摘要

基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关.选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧-质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成.利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析,并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验,结果表明,在水平和竖直方向的阈值均为50 ～60 g,接触时间可稳定在40μs以上.