基于图像处理的芯片尺寸测量系统研究

• 作者: 林意 袁琦睦 郑雪芳
• 来源期刊: 计算机与数字工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体芯片 图像处理 显微图像 边缘检测 系统标定
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 图像处理
• 页码范围: 1829-1831
• 页数: 3页
• 分类号: TN911.73
• 字数: 2178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9722.2013.11.036

摘要

利用图像处理技术设计了一个芯片尺寸测量系统,实现了对芯片电路尺寸的精确测量.介绍了测量系统的组成,以及对采集的显微图像进行的灰度化、滤波降噪、阈值分割、边缘检测等处理,并通过一块已知尺寸的半导体芯片对测量系统进行了标定.最后,利用该系统对芯片电路的线宽进行了测量.实验结果表明,该测量系统具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林意	江南大学数字媒体学院	68	260	8.0	12.0
2	郑雪芳	江苏信息学院电子信息工程系	16	19	3.0	3.0
3	袁琦睦	江苏信息学院电子信息工程系	7	15	3.0	3.0