Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlOx films deposited by atomic layer deposition

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篇名	Influences of different oxidants on the characteristics of HfAlOx films deposited by atomic layer deposition
来源期刊	中国物理B（英文版）	学科
关键词	HfAlOx atomic layer deposition oxidants annealing
年，卷（期）	2013,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	487-491
页数	5页	分类号
字数		语种	英文
DOI	10.1088/1674-1056/22/2/027702

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