腐蚀温度对多晶硅太阳能电池性能的影响

• 作者: 安海娇 张东升 王涛 王鹏杰 陈明敬 马继奎
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 酸溶液腐蚀 表面织构化 腐蚀温度 电性能参数
• 年，卷（期）: 2013,（z2）
• 所属期刊栏目: 能源材料
• 页码范围: 128-130
• 页数: 3页
• 分类号: TM919.4
• 字数: 1902字
• 语种: 中文

摘要

用化学腐蚀方法织构多晶硅片表面,通过调整制程参数获得腐蚀温度分别为12℃、17℃、22℃、29℃的4组样品,利用扫描电子显微镜(SEM)分析化学腐蚀后多晶硅片表面状态,通过反射谱的测试,分析了多晶硅片表面陷光效果,研究腐蚀温度与后续各制程参数的关系.结果表明:随着腐蚀温度的升高,绒面反射率、镀膜膜厚逐渐升高,开路电压、填充因子逐渐增大,短路电流逐渐减小,最终确定了最佳的腐蚀温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马继奎	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	5	1	1.0	1.0
2	陈明敬		4	1	1.0	1.0
3	张东升	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	9	1	1.0	1.0
4	安海娇	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	王涛	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
6	王鹏杰	英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	9	2	1.0	1.0