芯片测试探针X射线图像模式识别技术研究

• 作者: 赵勋杰 黄传霞
• 来源期刊: 计算机应用与软件
• 学科: 工学
• 关键词: 测试探针 X图像 形状特征 模式识别
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 应用技术与研究
• 页码范围: 244-247
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.41
• 字数: 2741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-386x.2013.07.064

摘要

研究IC半导体芯片测试探针图像模式识别的关键技术和方法.通过对大量测试探针图片的分析,发现不同系列探针图像的长、宽、各部分比例、面积有明显差别,而同一系列探针的相差不大,主要差别在头部和尾部的形状上.根据各种型号探针头部和尾部的形状特点,提出识别每种型号探针的形状特征参数,建立探针特征数据库.以其中3个系列16种探针为例,详细介绍探针形状特征的提取方法,并基于MATLAB开发了一个探针图像模式识别系统.实验表明该系统能够实现图像抓取、预处理、特征提取、识别及报警功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵勋杰	苏州大学物理科学与技术学院	40	576	12.0	22.0
2	黄传霞	苏州大学物理科学与技术学院	2	9	2.0	2.0