卷绕式磁控溅射镀膜机张力控制系统分析与优化

• 作者: 孙智慧 张莉 智慧 朱琳 林晶 肖玮 董文丽
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 张力 磁控溅射 镀膜 卷绕 simulink
• 年，卷（期）: 2013,（23）
• 所属期刊栏目: 技术专论
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TB486
• 语种: 中文

摘要

为避免卷绕式磁控溅射镀膜过程中张力引起的薄膜缺陷,以及原有张力系统响应速度慢、稳定性差等不足,对张力系统进行了分析与优化.通过分析确定了影响张力的关键因素是收(放)卷的速度和卷径变化,建立了张力系统动力学模型,采用simulink对张力控制系统进行仿真分析,利用实验验证的方法,分别在原设备和改造后的设备上制备Al2O3薄膜,并对比其SEM图像.改造后的系统可在0.65s内实现薄膜张力实时调整,而原系统需要8s.改造后的系统能够保证镀制过程中的张力恒定,膜层致密均匀、卷材层间无空隙和皱纹.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张莉		67	374	11.0	17.0
2	林晶		40	160	7.0	11.0
3	孙智慧		87	596	14.0	21.0
4	董文丽		18	69	5.0	8.0
5	肖玮		13	15	3.0	3.0
6	朱琳		22	56	5.0	7.0
7	智慧		13	31	3.0	5.0