工作压强对射频辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

• 作者: 何小珊 何智兵 李蕊 杨向东 牛忠彩 贾晓琴
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 辉光放电技术 等离子体质谱诊断 工作压强
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 474-480
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.058104

摘要

利用辉光放电技术采用等离子体质谱诊断的方法研究了不同工作压强下H2/C4H8混合气体等离子体中主要正离子成分及其能量的变化规律,并分析了压强对H2/C4H8混合气体的离解机理以及主要正离子形成过程的影响.结果表明:随着工作压强的增加,碳氢碎片离子的浓度和能量均逐渐减小.当工作压强为5 Pa时, H2/C4H8混合气体等离子体中C3H+5相对浓度最大;压强为10 Pa时, C3H+3相对浓度最大;压强为15,20 Pa时, C2H+5相对浓度最大;压强为25 Pa时, C4H+9相对浓度最大.对H2/C4H8等离子体中的主要组分及其能量分布所进行的定性分析,将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层的工艺参数优化提供参考技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨向东	四川大学原子与分子物理研究所	278	1103	14.0	21.0
2	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
3	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0
4	牛忠彩	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	6	2.0	2.0
5	贾晓琴	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	10	2.0	2.0
6	李蕊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	4	1.0	1.0