微梳齿结构动态特性参量的光学测量与分析

• 作者: 何运丽 刘海鹏 周勇 金磊 高世桥
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 动态特性 微梳齿 高速摄像机 显微镜
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 22-26
• 分类号: TM930.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2014.01.004

摘要

光学测试方法属于非接触测量,目前已经成为MEMS动态测试领域的研究热点.为了实时检测梳齿式微结构驱动模态的谐振特性,由高速摄像机和显微镜组成的计算机微视觉光学测试系统和相关的视频分析软件被用于测量微梳齿结构的动态特性.利用这套微视觉光学测试系统,可以获得微梳齿结构驱动模态的位移响应曲线和幅频特性曲线,并可以进一步得到驱动模态的固有频率、品质因子、阻尼系数等参数.测得的结果与计算结果相比,一致性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇	北京理工大学机电学院	30	181	8.0	13.0
2	高世桥	北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室	58	376	9.0	18.0
3	刘海鹏	北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室	33	152	6.0	11.0
4	金磊	北京理工大学机电学院	21	66	5.0	7.0
5	何运丽	北京理工大学机电学院	2	0	0.0	0.0