考虑梳齿动态特性的微加速度计敏感结构等效电学模型

• 作者: 刘云涛 王颖 赵磊 邵雷
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等效电学模型 ∑△闭环 微机械加速度计 感应梳齿
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 页码范围: 1046-1051
• 分类号: TP824
• 字数: 3317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7043.201110023

摘要

为确保Σ△(sigma-delta)微加速度计系统仿真的正确性,提出一种改进的敏感结构等效电学模型.在分析传统敏感结构等效电学模型局限性的基础上,研究了结构梳齿在外力作用下发生弯曲对闭环系统的影响和使∑△闭环反馈失效的机理,分析了梳齿弯曲对质量块所受静电合力的影响,结合传统电学模型,建立了包含梳齿弯曲因素的改进的等效电学模型.在微加速度计系统仿真中,利用敏感结构的传统模型并不能反映出调制器失效特性,输出显示调制器仍然正常工作,而利用所建立的敏感结构电学模型能够准确的表现出∑△反馈失效现象,为电路仿真的准确性提供了保障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王颖	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	55	237	9.0	13.0
2	刘云涛	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	25	70	5.0	7.0
6	赵磊		8	20	2.0	4.0
7	邵雷	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	5	13	2.0	3.0