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卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发
卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发
作者:
郝青山
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卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发
来源期刊
影像科学与光化学
学科
关键词
年,卷(期)
2014,(5)
所属期刊栏目
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研究方向
页码范围
493
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语种
中文
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郝青山
中国科学院理化技术研究所
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期刊影响力
影像科学与光化学
主办单位:
中国科学院理化技术研究所
中国感光学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1674-0475
CN:
11-5604/O6
开本:
16开
出版地:
北京市海淀区中关村东路29号 中科院理化所
邮发代号:
2-383
创刊时间:
1983
语种:
chi
出版文献量(篇)
1689
总下载数(次)
4
总被引数(次)
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