基于 ZnS 金属网栅制作工艺的改进

• 作者: 张红胜 李艳茹 陈赟
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 金属网栅 多晶ZnS 光刻复制工艺 光刻胶
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 光学功能材料
• 页码范围: 131-136
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7|TN972
• 字数: 1831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140701.0131

摘要

为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅，采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中，发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色，即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似，很难判断网栅是否显影彻底，进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺，通过采用镀一层过渡膜的方式，即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺，有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明，采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90％以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈赟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	585	12.0	23.0
2	张红胜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	137	6.0	11.0
3	李艳茹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	73	5.0	8.0