极紫外光学器件辐照污染检测技术

• 作者: 匡尚奇 喻波 王珣 金春水
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 79-88
• 页数: 10页
• 分类号: O484.5|O434.19
• 字数: 6769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140701.0079

摘要

总结并讨论了极紫外光刻技术中，有关极紫外光学器件受辐照污染的＂在线＂检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理；指出光刻系统中＂在线＂检测的技术要求；分析了目前几种主要表面检测技术的特点；给出了每种方法在极紫外光学系统中的应用潜力；最后，指出光纤椭偏仪在极紫外光学系统的“在线”表面污染检测中具有良好的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
2	喻波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	13	2.0	3.0
3	王珣		3	7	1.0	2.0
7	匡尚奇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	10	2.0	3.0