四连杆摇摆结构的金刚石线切割设备切割硅材料的研究

• 作者: 刘志东 岳伟栋 李玲凌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线切割 四连杆机构 摇摆切割 形状切割
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 59-63
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TH6
• 字数: 2824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.5.0013

摘要

设计了一种四连杆摇摆结构的金刚石线切割设备，阐述了该设备的结构组成与切割方式。进行了基于摇摆切割方式及传统直线方式的硅材料切片实验。结果表明：摇摆切割可明显降低金刚石线损耗，提高切割稳定性。同时进行了硅材料形状切割实验，研究了硅材料形状切割的可行性，提出了下一步需要研究的问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
2	岳伟栋	南京航空航天大学机电学院	5	35	3.0	5.0
3	李玲凌	南京航空航天大学机电学院	1	1	1.0	1.0