一种基于DVD读取头的非接触触发探头

• 作者: 李瑞君 程真英 陈晓怀 高伟
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 DVD光学读取头 非接触探头 纳米三坐标测量机
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 1562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.01.07

摘要

提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作.实验结果表明探头分辨率优于2 nm,测量重复性可达20 nm,目前已应用于纳米三坐标测量机上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程真英	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	33	193	8.0	12.0
2	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
3	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
4	高伟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	17	2.0	3.0