半导体硅电火花成形持续加工条件研究

• 作者: 刘志东 潘慧君 田宗军 邱明波 黄赛娟
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 硅 电火花加工 氧化物 稳定加工
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 设计窑研究
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TG661
• 字数: 3842字
• 语种: 中文

摘要

采用紫铜电极进行半导体硅电火花成形加工时，加工表面经常会生成黑点物质，导致加工无法进行。分析表明，该黑点物质为不具有导电性的铜氧化物。为避免该物质的产生，首先通过选用石墨电极改变电极材料，并选用不含有氧元素的工作介质，杜绝非导电金属氧化物形成的条件；其次，通过增加电极的附加振动或旋转，使极间的洗涤、冷却能力增强，改善了极间的排屑条件，从而使半导体硅电火花成形加工得以稳定顺利地进行。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宗军	南京航空航天大学机电学院	220	2027	21.0	32.0
2	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
3	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
4	潘慧君	南京航空航天大学机电学院	5	37	4.0	5.0
5	黄赛娟	南京航空航天大学机电学院	3	18	3.0	3.0