烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结行为的影响

• 作者: 刘志宏 刘智勇 李启厚 李晏平 李玉虎
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: In2O3 SnO2 烧结行为
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 221-228
• 页数: 8页
• 分类号: TF12
• 字数: 4140字
• 语种: 中文

摘要

采用XRD、SEM和XRF等表征方法研究In2O3、SnO2及其混合粉(In2O3与SnO2质量比为9：1)在N2、空气及O2气氛下于1300~1600℃烧结过程中的粉末分解质量损失、反应固溶、新相生成及孔洞形成等行为，以期为高密度铟锡氧化物(ITO)靶材制备奠定基础。结果表明：在1300~1600℃高温烧结中，In2O3和SnO2均分解升华， SnO2较In2O3更易于分解，增大烧结气氛的氧分压，有利于抑制分解反应的发生；在O2气氛下，ITO粉在1500℃开始显著分解产生质量损失；ITO粉在N2、空气和O2气氛中于1300℃下烧结4 h，样品中均存在SnO2相；于1400℃下烧结4 h，SnO2相消失，In4Sn3O12相出现；随着烧结温度的进一步升高，In4Sn3O12分解消失，其分解温度随烧结气氛氧分压增大而提高；在O2气氛下烧结，所得ITO粉晶格常数最低，且较为稳定，颗粒收缩较均匀，有利于高密度ITO靶材制备。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志宏	中南大学冶金与环境学院	96	919	17.0	25.0
2	李启厚	中南大学冶金与环境学院	71	654	14.0	21.0
3	刘智勇	中南大学冶金与环境学院	104	662	13.0	20.0
4	李玉虎	中南大学冶金与环境学院	42	289	9.0	13.0
5	李晏平	中南大学冶金与环境学院	1	3	1.0	1.0