粉末形状对SnO2靶材烧结性能的影响

• 作者: 邓志军 邓燕来
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 纳米粉 SnO2 陶瓷 烧结
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 305-307
• 页数: 3页
• 分类号: O482.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2008.05.010

摘要

将平均粒径为75～150 nm的线状、片状和近球形纳米SnO2粉末,分别在25 MPa压力下压制成形,以及在1 050℃、1 300℃和1 500℃温度下无压烧结,获得不同密度的高纯SnO2陶瓷靶材,并对不同形状纳米SnO2粉体制备的靶材进行断口形貌观察及密度分析.结果表明,近球形纳米SnO2粉体在低温无压下烧结的靶材性能明显优于其它两种形状粉体的靶材性能,前者在1 050℃下烧结2 h后,相对密度接近90%,且坯体表面光滑、平整,易于加工成形,已用于批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓志军		5	14	3.0	3.0
2	邓燕来		2	4	1.0	2.0