微波烧结制备ITO靶材的工艺

• 作者: 孙本双 易健宏 袁振 钟景明
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: ITO靶材 微波烧结 相对密度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 392-396
• 分类号: TF124.5|TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2011.03.013

摘要

采用单相ITO(indium tin oxide,铟锡氧化物)复合粉末,经过压制成形后,在纯氧气氛下微波烧结制备ITO靶材,研究烧结温度、保温时间和压制压力等主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响.结果表明:靶材的相对密度随烧结温度升高而增大;在1 600℃烧结时,靶材的相对密度随保温时间增加先增大后减小,在保温1.5 h时相对密度达到最大值(98.67%),高温长时间烧结对ITO靶材的致密化不利.微波烧结的ITO靶材显微组织均匀,晶粒尺寸较均匀,约为6～8μm.不同温度下制备的ITO靶材均无SnO<,2>相析出,仍是单一的固溶体相,不存在第二相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易健宏	中南大学粉末冶金国家重点实验室	109	1271	19.0	29.0
2	袁振	中南大学粉末冶金国家重点实验室	1	11	1.0	1.0