大尺寸高密度ITO靶材烧结初期致密化过程研究

• 作者: 黄瑜佳 龙神峰 吴少平 方伟彬 蒋坤朋 朱归胜
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: ITO 靶材 烧结法 致密化过程
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 特别推荐
• 页码范围: 6-10
• 页数: 4页
• 分类号: TF123
• 语种: 中文
• DOI: 10.16786/j.cnki.1671-8887.eem.2022.02.002

摘要

大尺寸高密度ITO靶材是我国当前的“卡脖子”技术，现有镀膜生产线对ITO靶材的相对密度要求达到99.7%以上，而ITO靶材在烧结初期的致密化过程对高密度ITO靶材的烧结至关重要。本研究着重对ITO靶材烧结初期的致密化过程进行了探讨，分析了喷雾造粒粉体的松装密度、生坯密度、烧结温度等对ITO靶材烧结初期致密化过程的影响。