ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究

• 作者: 张越举 李晓杰 李瑞勇 王金相 赵铮
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO 陶瓷靶材 爆炸压实烧结 致密化
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TF124|TN304.21
• 字数: 2477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.004

摘要

对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀.本文探索了纳米ITO粉末冲击压实烧结的微观机理,并与以往人们对粉末的冲击沉能结论进行了比较,得出结论:压实烧结的主要机理是破碎填充效应,使得一部分粉末颗粒表面原子间的距离达到了点阵量级,从而产生键合力;一部分表面原子间的距离达到了一定小的程度,Vander Waals力使其结合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓杰	大连理工大学工程力学系	204	1143	16.0	22.0
2	张越举	大连理工大学工程力学系	16	174	9.0	12.0
3	李瑞勇	大连理工大学工程力学系	20	225	10.0	14.0
4	王金相	大连理工大学工程力学系	17	154	8.0	12.0
5	赵铮	大连理工大学工程力学系	16	145	7.0	11.0