ITO靶材用高纯纳米二氧化锡制备研究

• 作者: 唐祥俊 樊繁 赵明勇 徐灿辉 梁国来 柳州华锡有色设计研究院有限责任公司
• 来源期刊: 新疆有色金属
• 学科: 其他
• 关键词: 纳米SnO2 尿素沉淀法 ITO
• 年，卷（期）: 2024,（3）
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16206/j.cnki.65-1136/tg.2024.03.021

摘要

以SnCl4·5H2O为原料，用尿素沉淀法制备了高纯纳米SnO2粉体。研究了尿素用量、中和反应温度、煅烧温度、洗涤次数等对粉体粒径和纯度的影响，优化纳米SnO2粉体制备工艺，并通过SEM、BET、ICP等技术对SnO2粉体进行粒径、纯度等性能表征。结果表明所制备的纳米SnO2粉体平均粒径在20～30 nm之间，粒径分布均匀，纯度在99.99%以上，符合ITO靶材用高纯纳米SnO2粉体的粒径分布和纯度要求。