微波烧结法制备ITO陶瓷

• 作者: 王晓平
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: ITO陶瓷 微波烧结 相对密度 升温速度 保温时间
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TM242
• 字数: 2359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.06.007

摘要

采用微波烧结,在常压、纯氧气氛条件下制备了ITO陶瓷.通过XRD、SEM和金相分析等方法研究了烧结温度和保温时间对ITO陶瓷相对密度的影响.结果表明,微波烧结具有升温速度快、保温时间短的优点,大幅缩短了ITO陶瓷的烧结周期.1550℃微波烧结并保温20 min的ITO陶瓷相对密度达到了99.5%,晶粒大小均匀,结构紧密,没有单相析出,晶粒尺寸为3～8 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓平		4	48	3.0	4.0