基于光学自由曲面的三维位移测量系统

• 作者: 万宇 房丰洲 朱朋哲 程颖
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学自由曲面 三维位移测量 数学模型标定 多轴系统
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 934-942
• 页数: 9页
• 分类号: TK448.21
• 字数: 5275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11784/tdxbz201306055

摘要

针对数控机床、多轴位移台等多轴系统位移检测中存在的检测方法复杂、测量费用高等问题，利用光学自由曲面具有极大的设计自由度，可简化系统结构、提高系统性能的特点，设计开发了一种基于光学自由曲面的非接触式三维位移测量系统，用于普通机床、多轴位移台等多轴系统位移精度检测．通过设计光学自由曲面基准件，搭建实验平台，建立测量系统的数学模型，完成了测量系统的标定实验、测量系统精度验证实验和三维位移测量实验．结果表明，该测量系统精度达2.8,μm，可用于多轴系统的位移检测．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0
2	朱朋哲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
3	万宇	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	11	1.0	2.0
4	程颖	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	64	3.0	4.0