CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究

• 作者: 苑伟政 邓进军 马旭轮 马炳和
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 陶瓷复合材料 静态标定 塞贝克系数 极限使用温度
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 304-307
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.03.005

摘要

在碳纤维增韧补强碳化硅陶瓷复合材料( CFCC-SiC)表面制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器结构自下而上依次为CFCC-SiC陶瓷基底、SiO2过渡层,Al2 O3绝缘层及NiCr/NiSi热电偶层。对所制备传感器进行了静态标定,其在300℃~700℃范围内具有稳定的热电动势输出,平均Seebeck系数为41.71μV/℃,传感器极限使用温度约为750℃。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	33	167	7.0	11.0
2	苑伟政	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	70	351	10.0	14.0
3	邓进军	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	57	4.0	6.0
4	马旭轮	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	9	1.0	1.0