一种基于偏振光干涉的直线度测量系统

• 作者: 冯胜东 周易 康吉 肖胜
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度 测量 偏振光干涉 相位 系统
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 51-54
• 分类号: TN24
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成.测量时,活动部分固定在被测要素上.被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化.通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果.实验显示本测量系统具有10 nm的分辨率,在20 mm的测量范围内误差≤0.5 μm,提高了分辨率和测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周易		7	54	4.0	7.0
2	肖胜		8	24	3.0	4.0
3	冯胜东	华中科技大学机械学院仪器系	1	4	1.0	1.0
4	康吉	华中科技大学机械学院仪器系	1	4	1.0	1.0