4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列的设计与制备

• 作者: 宋玲玲 张大明 张立钧 李亮 李浩 王焕然 王菲 衣云骥
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导延迟线 二氧化硅 Y分束器
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 集成光电子
• 页码范围: 435-441
• 页数: 7页
• 分类号: TN252
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140703.0435

摘要

设计并制备了一种高集成度、低成本、低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的Y分支的损耗、弯曲损耗进行数值模拟。综合考虑器件尺寸和损耗参数，设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1500μm，引入优化的锥口Y分支结构和垂直相交波导结构。采用标准半导体制作工艺制备器件，测试得到了器件的红外输出光斑，延迟线延迟时间分别为0、113、226和339 ps。4通道二氧化硅延迟线阵列能实现相邻通道相等的延迟时间间隔，且可通过集成实现延迟时间的增加，同时输出端可以与光纤阵列集成。