Ba0.8Sr0.2TiO3薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征

• 作者: 周科朝 庄后荣 张妍 张斗 李艳红
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜 溶胶-凝胶法 介电性质
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 160-167
• 页数: 8页
• 分类号: TN304
• 字数: 5453字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备钙钛矿结构的Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜。对其前驱体干凝胶进行热重与差热(TG-DSC)分析，以此确定薄膜的热处理工艺。分别采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和B1500A半导体器件分析仪对薄膜性能进行表征。结果表明：800℃下在氧气气氛中退火15 min可以得到结晶度良好、致密度较高的纯钙钛矿相BST薄膜，其对应的晶粒尺寸和均方根粗糙度分别为30~40 nm和5.80 nm。薄膜厚度为160~378 nm时，BST薄膜的介电常数和介质损耗随薄膜厚度的增加而增大。厚度为300 nm的BST薄膜的介电常数由于尺寸效应随温度升高单调降低，且居里温度在室温以下。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周科朝	中南大学粉末冶金国家重点实验室	294	2609	23.0	37.0
2	张妍	中南大学粉末冶金国家重点实验室	10	12	2.0	3.0
3	张斗	中南大学粉末冶金国家重点实验室	23	110	6.0	10.0
4	李艳红	中南大学粉末冶金国家重点实验室	20	133	6.0	11.0
5	庄后荣	中南大学粉末冶金国家重点实验室	4	24	2.0	4.0