半导体制造AMHS中悬挂式小车多因素调度方法

• 作者: 周炳海 周琪 郑雯
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬挂式小车 多因素 调度 二分图 自动物料搬运系统
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 信息与控制
• 页码范围: 603-606
• 分类号: TP29
• 语种: 中文

摘要

为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车(overhead hoist transporter,OHT)调度方法.从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优先级、工作站特性、OHT利用率、等待时间5个关键因素.以成本最小作为调度目标,基于这5个因素构造了混合多因素调度模型,同时引用二分图匹配方法构建了调度模型的求解算法.最后进行了仿真实验设计和分析,结果表明该方法是有效、可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周琪	同济大学机械与能源工程学院	326	8093	46.0	74.0
2	郑雯	同济大学机械与能源工程学院	4	20	3.0	4.0
3	周炳海	同济大学机械与能源工程学院	166	679	12.0	15.0