基于溶胶凝胶法的纳米磨料抛光工具基体特性研究

• 作者: 宋运运 徐西鹏 陆静
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 纳米磨料 海藻酸钠 溶胶凝胶 干燥控制化学添加剂(DCCA) 正交实验 抛光
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 286-292
• 分类号: TH145.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20130021

摘要

相对于传统化学机械抛光(CMP)技术存在的磨料浪费和抛光液污染环境等问题,一种以海藻酸钠(SA)水凝胶为基体的纳米磨料抛光工具开始展现其潜在的应用前景和环保优势.为了解决凝胶干燥成膜过程中基体严重收缩导致的磨料层很薄以及储存过程中基体继续失水引起的工具表面干裂失效等问题,采用了向基体中添加干燥控制化学添加剂(DCCA)的方法;并通过正交实验和极差分析,分析了不同DCCA对基体收缩的影响程度,选择了最佳的添加剂浓度配比.最后通过硅片抛光试验,对改良后的工具加工性能进行了检验.试验结果表明,向基体中添加质量分数为4％的纳米二氧化硅、12％的蔗糖和0.14％的十二烷基硫酸钠(SDS)对基体收缩的抑制效果最明显,磨料层的厚度提高了1.7倍,且在储存过程中不再出现明显的脱水失效.同时,该工具的基体变成了疏松多孔的结构,进而提高了工具的加工性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐西鹏	华侨大学机电及自动化学院	186	1660	20.0	28.0
5	陆静	华侨大学机电及自动化学院	11	39	4.0	6.0
9	宋运运	华侨大学机电及自动化学院	3	21	3.0	3.0