纳米级面形精度光学平面镜加工

• 作者: 张峰
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学加工 环带抛光 离子束抛光 材料去除函数
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 616-621
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 字数: 2780字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140704.0616

摘要

为实现纳米级面形精度光学平面镜的高效精密抛光，提出了一种由传统环带抛光技术和先进离子束抛光技术相结合的组合式加工方法。介绍了环带抛光技术和离子束抛光技术的原理，通过实验研究了离子束抛光的材料去除函数，并采用这种组合抛光方法对口径为150 mm的平面镜进行抛光，抛光后平面镜的面形误差和表面粗糙度分别达到1.217 nm RMS和0.506 nm RMS。实验结果表明，这种组合抛光技术适合纳米级面形精度光学平面镜的加工。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室	149	3496	30.0	56.0