碱蚀流程精细线路板件线宽补偿规则的改善研究

• 作者: 林伟娜
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 碱蚀 CPK计算 精细线路 线宽补偿规律 加工稳定性
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 图形形成与蚀刻 Pattern Formation and Etching
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TN41
• 字数: 3552字
• 语种: 中文

摘要

文章主要是通过试验及Cpk计算评估精细线路板件在碱蚀流程中的加工情况，找出不同蚀铜厚度、不同线路类型及不同线路走向之间的线宽补偿规律，从资料制作上改善受图形分布或平板加厚导致线细与蚀不净矛盾，降低生产难度，提高板件加工稳定性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林伟娜		3	2	1.0	1.0