空间光学遥感器反射镜离子束加工过程的热效应

• 作者: 于善猛 刘巨
• 来源期刊: 光电工程
• 关键词: 光学制造 离子束加工 热效应 热应力
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: ?空间光学与遥感技术?
• 页码范围: 62-67
• 页数: 6页
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2014.11.010

摘要

针对空间光学遥感器反射镜离子束加工过程中，离子束瞬态大热流密度造成加工过程镜体温度急剧上升引起的热应力问题，利用UG8.5软件flow thermal高级仿真模块对反射镜组件的温度场进行瞬态仿真，预示加工过程的温度场，将温度场映射至结构有限元模型，利用NX NASTRAN计算出反射镜组件的热应力分布。根据反射镜组件的加工环境和结构特点，采取导热措施将加工过程热量疏导至大热容工装板。结果表明，采取热控措施后反射镜组件加工过程最高温度降低15%，对应的最大热应力降低27%，有效降低了反射镜组件的热应力；通过ZYGO干涉仪检测加工完成后的反射镜面型，面型精度优于λ/50，为空间光学反射镜离子束加工提供了有效的保障。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘巨	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	315	12.0	17.0
2	于善猛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	80	5.0	8.0