FeCoB基薄膜微波噪声抑制器的传导噪声抑制特性研究

• 作者: 邱景
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 噪声抑制器 磁性薄膜 微带线 信号衰减 铁磁共振频率
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究??开发
• 页码范围: 03033-03036,03041
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2014.03.008

摘要

为了获得高性能的微波噪声抑制器,采用射频磁控溅射工艺制备了 FeCoB 基薄膜微波噪声抑制器,并用微带线法测试了其传导噪声抑制特性.研究了薄膜噪声抑制器的工艺参数和几何尺寸对其传导噪声抑制特性的影响.结果表明,合适的低氩气压有利于其噪声抑制性能的提高；通过控制 FeCoB基薄膜和SiO 2介质层的几何尺寸,可以实现对其微波噪声抑制性能的连续可调,这主要归因于软磁薄膜的铁磁共振损耗和涡流损耗.制备的 FeCoNiB 薄膜(长25 mm,宽10 mm,厚250 nm)微波噪声抑制器在3．4 GHz 时的信号传输功率损耗比 P loss/P in达到75％.结果表明,该FeCoB基薄膜微波噪声抑制器可应用于 GHz频段抗电磁干扰中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱景	重庆大学光电工程学院传感器与仪器研究中心	2	3	1.0	1.0