板条Nd∶YAG晶体的合成盘抛光技术

• 作者: 侯晶 廖德锋 王健 王晓博 袁志刚 谢瑞清 钟波 陈贤华 雷向阳
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 板条激光器 Nd∶YAG晶体 抛光 合成盘 面形 粗糙度
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 134-137
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.73
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB201426.012007

摘要

针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd∶YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd∶YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd∶YAG晶体加工工艺,并对规格为100 mm×30 mm×3 mm的板条Nd∶YAG晶体进行了加工实验.实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217 λ(1λ=632.8 nm),端面平面度达到0.06λ,表面粗糙度达0.55 nm(RMS),端面楔角精度可达2″.