Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术

• 作者: 廖德锋 王健 谢瑞清 赵世杰 陈贤华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: Nd∶YAG晶体 板条 透射波前 光学加工 抛光
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 171-176
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.73
• 字数: 2917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.062010

摘要

针对高平均功率固体激光器对Nd∶YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究.详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案.实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd∶YAG晶体板条的低透射波前误差加工.对于150 mm×30 mm×2.5 mm规格的Nd∶YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74λ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		25	165	9.0	11.0
2	赵世杰		3	6	2.0	2.0
3	陈贤华		11	72	6.0	8.0
4	谢瑞清		7	35	4.0	5.0
5	廖德锋		3	14	2.0	3.0