太阳电池用绒面结构ZnO-TCO薄膜及光管理研究进展

• 作者: 张德坤 张晓丹 杜建 田淙升 耿新华 赵慧旭 赵颖 陈新亮 魏长春
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 绒面结构 ZnO-TCO薄膜 光管理 薄膜技术
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 2966字
• 语种: 中文

摘要

主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductiveoxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展.主要包括溅射&湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯度杂质掺杂技术、复合特征尺寸生长设计以及直接生长绒面结构ZnO薄膜技术和宽光谱ZnO薄膜生长设计等.此外,对薄膜太阳电池中的先进光管理(Light management)结构设计及新材料应用进行了探讨和展望.