应用动态调制与干涉条纹形状测量二维角度

• 作者: 刘文超 杨练根 王选择 翟中生 钟毓宁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 角度测量 二维角度 干涉条纹 四象限探测器 动态调制
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 274-280
• 页数: 7页
• 分类号: TB922|TH744.3
• 字数: 3278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142202.0274

摘要

采用四象限探测器接收干涉条纹进行位移测量时,干涉条纹的形状会影响各探测器之间的相位差.本文在建立干涉条纹形状与干涉夹角关系模型的基础上,提出了应用四象限探测器识别干涉条纹形状的方法.通过干涉条纹光强面积分运算方法,推导了干涉条纹形状参数与探测器信号相位差之间的理论公式,并给出了相位差与干涉夹角之间的关系.利用PZT匀速驱动参考镜的方法实现了干涉条纹的动态调制,提高了信号相位差的识别精度.通过椭圆拟合技术实现了相位差在(0,π)的高精度识别,并结合特定的正余弦累积运算实现了(-π,π)相位差的识别,从而完成了偏转角度方向的测量.相对传统CCD条纹形状识别方法,该方法扩大了角度测量范围,且更适合动态测量.与高精度自准直仪进行的比对实验表明,该方法在±300”的测量精度为3”.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟毓宁	湖北工业大学机械工程学院	44	441	11.0	20.0
2	刘文超	湖北工业大学机械工程学院	21	58	4.0	7.0
3	杨练根	湖北工业大学机械工程学院	35	114	6.0	9.0
4	王选择	湖北工业大学机械工程学院	53	208	8.0	11.0
5	翟中生	湖北工业大学机械工程学院	45	109	6.0	8.0