基于无源超高频射频识别标签的湿度传感器设计

• 作者: 佐磊 何怡刚 吴可汗 李兵 邓芳明
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 湿度传感器 电容式传感器接口电路 锁相环 射频识别
• 年，卷（期）: 2014,（18）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 188402-1-188402-7
• 页数: 1页
• 分类号: 84.40.-x|07.07.Df
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.188402

摘要

针对无源超高频射频识别传感器标签大规模运用的需求,采用中芯国际0.35μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺设计并制造了一种低成本、低功耗的湿度传感器.湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料,利用顶层金属层制作叉指结构电极,制造过程与标准CMOS制造工序兼容,无需任何后处理工艺.接口电路部分基于锁相环原理,采用全数字电容-数字直接转换结构,能够工作在接近工艺阈值电压下.后期测试结果显示,该湿度传感器在常温下灵敏度为36.5 fF%RH,最大回滞偏差为7%,响应时间为20 ms,0.6 V电源电压下消耗2.1μW功率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兵	合肥工业大学电气与自动化工程学院	68	392	10.0	17.0
2	何怡刚	合肥工业大学电气与自动化工程学院	175	1119	17.0	26.0
3	邓芳明	合肥工业大学电气与自动化工程学院	39	212	8.0	13.0
7	佐磊	合肥工业大学电气与自动化工程学院	18	104	6.0	10.0
8	吴可汗	合肥工业大学电气与自动化工程学院	3	43	2.0	3.0