热驱动微光学

• 作者: ZAPPE Hans 张维
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 可调微透镜 热驱动器 微光学
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 215-224
• 页数: 10页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140702.0215

摘要

通过实例研究和近期报道的文献，论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体，包括微镜片和薄膜微透镜，热驱动器利用芯片上的温度变化产生所需要的压力差，从而对微透镜进行调控。同时还讨论了用于微光学结构的各种设备、结构、液体和膜材料，并提供了典型操作特性。