新型气体传感器微热板的设计与优化

• 作者: 何越 刘丽 张晓波 王连元 迟霄
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微热板 电极 温度分布
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 707字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层.通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布,并对测量电极的结构进行了优化.当微热板的基底中前SiO2层、中问Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150 μm、100 μm且测量电极不放叉指时,微热板中心温度最高且能够获得最佳温度分布.这种新型的微热板结构有助于提高传感器的整体性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丽	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0
2	王连元	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0
3	何越	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	4	5	2.0	2.0
4	迟霄	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	1	0	0.0	0.0
5	张晓波	超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院	1	0	0.0	0.0